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衬底复活炉

衬底复活炉
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:衬底复活炉
  • 产品型号:YYG1200
  • 产品展商:燕园科技
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍

衬底复活炉、氮化镓衬底复活炉

产品描述

由于图形化蓝宝石衬底PSS)可以有效的改善晶体生长质量并提高LED器件光萃取效率,已经成为业内LED生长的主流衬底。然而,外延生长及芯片制作中,无可避免会出现废片现象。本公司结合北京大学的科研成果,利用高温气氛等技术手段,可以完全去除图形衬底上生长的GaN外延层,从而上乘复活图形衬底,使之可以重新外延生长利用,为外延厂家废片库存问题提供上乘的解决方案。

报废样品

复活后

复活后

使用复活衬底重新外延并制备的芯片测试结果显示,芯片质量和使用正常PSS没有差别,目前的成品率可以达到90%以上。对比效果见下表:

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