在传统的直拉法生产单晶材料时,生产设备存在自动化程度低,投料量少、设备功能单元布局不合理等一系列问题,从而导致单晶生产中人工劳动强度大、单位产能与品质低,成本高等一系列问题。随着社会的进步,市场对新一代单晶生产设备转向自动化程度高、投料量大、单位时间产能高、能耗低等方面。针对这些需求,炉压自动控制技术、CCD非接触测量技术、炉体恒温控制技术的发展的进一步要求也是自动化;大炉体,高副室,旋板阀,水冷屏等的技术改进,是提高投料量与产能的必要方式。当投料量与产能达到一定程度时,副室的高度会进一步增加,因此坩埚托盘与提拉头的动平衡问题会日渐突出,如何保证两大低频非规则运动部件的动平衡将会是一大挑战。
NVT-HG型单晶炉可实现生长过程的全自动控制,炉压全自动控制,采用CCD测量技术,此外还以其大装炉量、高生产效率、低能量消耗,为客户带来额外利益。
应用领域
• 直拉法晶体提纯
• 直拉法多晶生长
• 直拉法单晶生长
• 目前主要用于单晶硅棒的生产制造
适用工艺
炉压自动控制、CCD非接触测量、自动旋板阀、下排气流线型管路等
产品优势
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单台2吨以上的月产能,实现单晶硅棒量产。
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合理的炉体布局,使得炉子能耗同比下降10%。
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大尺寸的主室为大投料量留下了空间。
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CCD系统保障了晶体的自动引放与等径,为以后升级预备了空间。
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自动旋板阀的应用大大提高了副室的可应用长度,自动开旋大大减少了操作人员的劳动强度。
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下排气的流线型设计,为硅料页面提供稳定的氩气氛围,大大提高液面与硅棒生产的稳定性。
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在极端的漏水等情况发生时,炉盖泄压设计防止了炉体爆炸,将高压泄 放。
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自动炉压系统快速调整炉压,实现了炉体自动压力恒压,解决了人工调整炉压的滞后性和准确性等问题。
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工艺菜单为客户提供了各类工艺设置储存,客户可以按照自主工艺自动生产晶体。
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单机版数据工作站按每分钟储存一次的速率快速存储数条关键数据,为 用户实现工艺参数追溯。