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立式晶圆加工系统

立式晶圆加工系统
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  • 产品名称:立式晶圆加工系统
  • 产品型号:YYKJ1200
  • 产品展商:燕园科技
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简单介绍

本款晶元系统有以下特点 1、占地面积小 2、优化的单管双舟传送系统,使搬运时间缩至*短,同时降低拥有成本与维修成本。 3、为高批量生产和产能*大化而设计,并具有高度的灵活性,适于所有的标准大气压与低压化学气相沉积工艺。

产品描述
  1. 本款设备每批加工量多达150片晶圆。
      2.设备还配备以下功能特点
  1. 自对准
  2. 双舟输送
  3. 水冷加热匣
  4. 可以并排安装

      3.本设备还可用于以下用途


  1. 退火
  2. 扩散
  3. LPcvd(低压化学气相沉积)
  4. 氧化


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