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- 产品名称：立式晶圆加工系统
- 产品型号：YYKJ1200
- 产品展商：燕园科技
- 产品文档：无相关文档
简单介绍
本款晶元系统有以下特点
1、占地面积小
2、优化的单管双舟传送系统，使搬运时间缩至*短，同时降低拥有成本与维修成本。
3、为高批量生产和产能*大化而设计，并具有高度的灵活性，适于所有的标准大气压与低压化学气相沉积工艺。
产品描述
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本款设备每批加工量多达150片晶圆。
2.设备还配备以下功能特点
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自对准
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双舟输送
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水冷加热匣
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可以并排安装
3.本设备还可用于以下用途
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退火
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扩散
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LPCVD（低压化学气相沉积）
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氧化