- 如果您对该产品感兴趣的话，可以
- 产品名称：卧式晶圆工艺批次处理系统
- 产品型号：YYKJJY1200
- 产品展商：燕园科技
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简单介绍
本款产品适用于材料的退火、扩散、氧化、低压化学气相沉积、等离子增强化学气相沉积等。能够批量处理晶元材料大大节省了时间成本，是各种晶元材料批次处理的不二选择。
产品描述
技术参数
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大气压加工、等离子增强化学气相沉积加工与低压化学气相沉积加工
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能提供任选加工腔方案
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先进的水冷却系统保证不同的工艺炉管之间无热干扰
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模块化部件设计，便于在洁净室内安装与启动生产
特征描述
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快速冷却系统
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用于自动舟输送的集成升降装置
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集成舟缓冲与冷却系统
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全自动晶圆输送系统（盒至盒运输）
使用说明
所有的炉管均配备一个综合的晶舟处理系统，其可以存放多达8个工艺晶舟，同时也集成有一个晶圆传输系统。
水冷式加热器外壳和软着陆系统设计能*大限度排除外部环境影响。且易于维护，能确保低维护成本及高的正常运行时间。
包装清单