产品分类
产品资料

300mm晶圆工艺卧式高产能系统

  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：300mm晶圆工艺卧式高产能系统
  • 产品型号：YYKJJY300
  • 产品展商：燕园科技
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍

提供出众的温度均匀性以及理想稳定的工艺 系统同时支持干氧及湿氧工艺
产品描述

产品详情

技术参数

 设备平台由两个各含4层炉管的系统及一个自动化装置装载系统组成

加热系统包括5个双区加热单元

用途/应用领域

 支持高达1200°C高温工艺，其氧化和Drive-in工艺可促进研发更具有低界面陷阱密度（Dit）和高沟道迁移率的氧化物层。



产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!
联系我们

联系人：王经理   移动电话：13761027387   Email：wangguotao@szlitan.com  QQ：595171126

  • 关于
  • 产品
  • 资讯
Copyright@ 2003-2024  东莞燕园半导体科技有限公司版权所有     粤ICP备18012295号  
联系人：王经理   移动电话：13761027387   Email：wangguotao@szlitan.com  QQ：595171126