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- 产品名称：立式8吋快速退火炉
- 产品型号：YY8H---快速退火炉
- 产品展商：燕园科技
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简单介绍
YY8H-3-08系列自立式8吋快速退火炉采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品(8英寸)快速升温和降温，可用于快速热处理(RTP)、快速热退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等半导体工艺。
产品描述
产品特点：
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可测大尺寸样品：可测单晶片样品的尺寸为1-8英寸。
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压力控制系统研发设计：高精度控制压力，以满足不同的工艺要求。
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存储热处理工艺：方便工艺参数调取，提高实验效率，数据可查询。
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快速升温：极限升温速率可达150℃/s。
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程序设定与气路扩展：可实现不同温度段的控制，进行降温段的自动转接，并能够对工艺菜单进行保存，方便调用。采用MFC及时控制气体流量，至多可支持6路气体，实现不同气氛环境（真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等）下的热处理。
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全自动智能控制：采用全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空、冷却水等均可实现自动控制。
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超高防护系数：采用炉门本身温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停保护三重防护措施，全方位保障设备使用无误。
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分区控温：分区域控制加热功率，提高温度均匀性。
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国产退火炉：拥有自主研发技术和制造能力，能快速反应客户售后需求。