- 如果您对该产品感兴趣的话，可以
- 产品名称：HVPE外延炉----卧式
- 产品型号：YYHVPE卧式外延炉
- 产品展商：燕园科技
- 产品文档：无相关文档
简单介绍
Ga2O3单晶生长及外延设备，HVPE外延炉。
本设备主要用于氧化镓（Ga2O3）、氮化铝（AIN）等外延生长。
产品描述
产品概述/Product Introduction：
本设备主要用于氧化镓（Ga2O3）、氮化铝（AIN）等外延生长。
This device is mainly used for epitaxial growth of gallium oxide (Ga2O3), aluminum nitride (AIN), and other materials.
提供2英寸验证工艺
Provide 2 inches validation process.
产品特点/Product Characteristics：
♦ 衬底: 2-8英寸
Substrate size: 2-8 inches
♦ 数量: 1片/多片
Quantity: 1pcs/multiple pcs
♦ 控温精度: 精度高，温区稳定性好
Temperature control precision : High temperature control precision and good statlity in temperature zone.
♦ 结构: 立式/卧式可选，满足多种尺寸衬底多种操作方式需要
Structure: Vtica/horizontal structual is optional, can meet theneeds of customerswith various sizes ofsubstrates and various operation modes.
♦ 设备保护功能: 硬件保护+软件互锁
Facility protection: Hardware protection+software interlock.