晶圆腐蚀炉 YY-碳化硅腐蚀炉东莞燕园半导体科技有限公司

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晶圆腐蚀炉

简单介绍

用于硅片边缘LTO的腐蚀去除，以便外延片的生长。

产品描述

产品规格：

1、适用范围：8寸/12寸硅片
2、产能：批次腐蚀，每批次25片，产能依据腐蚀厚度
3、搬运方式：PFA cassette/手动

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