碳化硅单晶炉

这款碳化硅单晶炉是由东莞燕园联合北京大学东莞光电研究院共同研发：

*设备采用先进的电磁屏蔽技术；

*同时对真空、温度等控制参数定点标定及二次校准，减小机差；

*增强碳批量化生产的工艺可复制性。

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